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Bachelorarbeiten

1. Herstellung und Charakterisierung ultradünner Parylen-Schichten


Datum: 05.06.2015

Position: Bachelorarbeit

Ort: Sektion Physik, LMU

Kontakt: thomas.arend#?lmu.de, roland.kersting#?lmu.de*

Zeitrahmen: 10 Wochen

Beginn: ab sofort

Die Herstellung ultradünner elektrischer Isolatoren ist eine technologische Herausforderung, die sich in zahlreichen Anwendungsgebieten von der Halbleitertechnik bis zur Biotechnik finden lässt. Ein überaus vielversprechende Materialklasse sind polymere Parylen-Dünnfilme. Parylene kennzeichnen sich unter anderem durch höchste elektrische Durchbruchfeldstärken, chemische Stabilität und auch dadurch, dass sie vollkommen biokompatibel sind, was zahlreiche Anwendungen in der Medizintechnik verspricht. Parylene lassen sich mittels Chemical Vapor Deposition aus der Gasphase abscheiden, wobei sie Oberflächenstrukturen konform umschließen.

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 Ziel der Arbeit ist es, Parylen-Dünnfilme herzustellen und zu charakterisieren. Die Anlage zur Chemical Vapor Deposition wurde 2015 überholt und erlaubt jetzt die kontrollierte Abscheidung über eine computergesteuerte Prozesserfassung. Zur Charakterisierung der Dünnfilme gehören die Bestimmung der Schichtdicken, der elektrischen Durchbruchfeldstärke und der Defektdichte. Eine aktuelle wissenschaftliche Fragestellung ist, wie die Elektrostatik der Oberfläche die Abschei-dungsraten beeinflusst und ob sich dies nutzen lässt, um mit lateraler Auflösung die Dicke der Parylenschicht zu kontrollieren
 


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